東北大學巴德純教授研發(fā)多種干式真空泵 為中國制造保駕護航
東北大學巴德純教授課題組與中科院沈陽科學儀器股份有限公司成功研制出干式真空泵的消息不脛而走，立即吸引來眾多**企業(yè)前來洽談合作。短短幾年間，產(chǎn)品已經(jīng)在北方微電子、北京中科信、湖南紅太陽、上海中芯國際等國內(nèi)重點用戶的集成電路生產(chǎn)線上成功應用，得到了企業(yè)的廣泛好評。產(chǎn)品的應用為企業(yè)帶來了可觀的經(jīng)濟效益，近年來新增利潤累計1.003億元，新增稅收0.153億元，增收節(jié)支總額1.493億元。
2015年以 清華大學 賈培發(fā)教授為主任，眾多技術專家為組員的驗收委員會一致認為，項目“完成轉子型線分析、優(yōu)化設計和泵內(nèi)流場理論分析，并搭建了干泵的設計平臺（理論部分），指導干泵的設計”，達到了******。
零事故高效研發(fā)，為中國制造保駕護航
2013年底，東北大學與中科院沈陽科學儀器股份有限公司組成工藝測試團隊，與中科院微電子企業(yè)進行刻蝕機真空裝備項目合作。真空泵開始工作不久，現(xiàn)場團隊成員發(fā)現(xiàn)真空泵工作**，效率低下。巴德純教授根據(jù)故障現(xiàn)象，判斷是刻蝕出來的氣體揮發(fā)物在泵內(nèi)壓縮時很快凝結成顆粒，附著在真空泵轉子上，阻礙機器正常運轉。根據(jù)這一判斷，工作人員對冷卻方式進行了智能調節(jié)，避免過低的冷卻溫度，在氣體凝固前將其抽出，保證了真空干泵的高效運行和刻蝕機的正常運轉。
真空泵的試驗需要在企業(yè)加工生產(chǎn)線上不停機進行，一旦出現(xiàn)意外將造成重大的生產(chǎn)事故。東北大學巴德純教授研究真空泵30余年，在各種生產(chǎn)線上進行了上千次的實驗測試，憑借課題組對不同生產(chǎn)環(huán)境的有效預判，對相應的溫度場和流場的準確測量，從沒有出現(xiàn)一次生產(chǎn)意外，以零事故研發(fā)為東北大學贏得了良好的聲譽。
經(jīng)過東北大學的理論設計、中科院沈陽科學儀器股份有限公司的產(chǎn)業(yè)化開發(fā)的JGH系列的真空泵投入市場后，受到企業(yè)的青睞，對國外相關設備形成沖擊。國外企業(yè)立即大幅度調低了某種型號真空泵的售價，單臺價格從30余萬元直接降低到15萬元。2014年起，干式真空泵又在東北制藥、同聯(lián)藥業(yè)等知名制藥企業(yè)成功開始應用。與制藥企業(yè)采用傳統(tǒng)水環(huán)泵相比，采用干式真空泵只需要很少的能耗，對環(huán)境無污染，而且可以對低沸溶媒實現(xiàn)98%以上的有效泵后回收，實現(xiàn)環(huán)境友好的生產(chǎn)工藝，達到了節(jié)能減排的效果，取得了巨大的經(jīng)濟效益和社會效益。
目前，巴德純教授團隊與中科院沈陽科學儀器股份有限公司合作，已經(jīng)先后開發(fā)了多個具有自主知識產(chǎn)權的干式真空泵（機組），形成了JGM系列、JGH系列等2大系列10余種型號，滿足了清潔真空環(huán)境、中度真空環(huán)境和惡劣真空環(huán)境等全天候真空抽氣要求。目前，生產(chǎn)的多級真空干泵已經(jīng)廣泛應用于半導體、化工、醫(yī)藥、精密芯片等對清潔真空條件要求十分苛刻的制造業(yè)。
巴德純自信地表示：“中國制造2025將智能制造作為主攻方向，真空泵產(chǎn)品正是這一方向**制造業(yè)發(fā)展的重要關鍵零部件。東北大學將逐步形成關鍵制造裝備供貨能力，為中國的**制造業(yè)保駕護航?！?/span>
