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公司新聞

Edwards真空泵維修檢測(cè)方案


確定極限真空度

  在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的*佳工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級(jí)泵的極限真空度低50%。 

被抽氣體種類與抽氣量

  檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。 

真空容積

  檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。
考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。  

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