什么是EBARA分子泵？它有那些特點(diǎn)？
EBARA分子泵是EBARA公司生產(chǎn)的一種高性能真空泵。分子泵的主要組成部分包括轉(zhuǎn)子、定子和抽氣口。其工作原理是，當(dāng)分子泵開(kāi)始工作時(shí)，轉(zhuǎn)子開(kāi)始高速旋轉(zhuǎn)，形成一個(gè)高速的氣體流動(dòng)。氣體進(jìn)入分子泵后，會(huì)與轉(zhuǎn)子葉片碰撞，由于葉片間距非常小，氣體分子之間會(huì)發(fā)生多次碰撞。在碰撞過(guò)程中，氣體分子會(huì)受到葉片的沖擊和擴(kuò)散，速度會(huì)逐漸減小，*終被抽取出來(lái)。
EBARA分子泵具有許多優(yōu)點(diǎn)，如抽氣效率高、噪音低、運(yùn)行穩(wěn)定等。此外，其結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便，適用于各種真空應(yīng)用場(chǎng)合。
EBARA分子泵的技術(shù)參數(shù)包括流量、揚(yáng)程、*大壓力、出口尺寸和葉輪尺寸等。具體來(lái)說(shuō)，流量范圍在42m3/min（50Hz）至48m3/min（60Hz），揚(yáng)程范圍在150m（50Hz）至220m（60Hz），*大壓力為25bar（2.5Mpa），出口尺寸為125-400mm，葉輪尺寸為165-631mm。
在分子泵中，轉(zhuǎn)子、定子、動(dòng)片、靜片、外殼、輔助軸承和高頻轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)等部件都發(fā)揮著重要的作用。轉(zhuǎn)子部在通電后開(kāi)始回旋加速，直至達(dá)到額定轉(zhuǎn)速。動(dòng)片是分子泵轉(zhuǎn)子上的葉片，而靜片則是通過(guò)靜片固定環(huán)固定在兩層動(dòng)片之間，不隨動(dòng)片轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片。外殼是泵的壓力保持圈，而輔助軸承則起到保護(hù)磁懸浮軸承和承受突然掉電時(shí)保護(hù)主軸的作用。高頻轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)由環(huán)行線圈通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂澆注而成，根據(jù)電源提供的頻率驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子加速轉(zhuǎn)動(dòng)。
